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光刻机,是英特尔研发出来的,为何只有能造?
苏晶
2024-08-07
【音乐】
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摘要目前全球只有一家厂商,能够制造出EUV光刻机,它就是荷兰的ASML。但大家不知道的是,其实EUV光刻机的研发,是英特尔带着美国的实验室、科研机构研发出来的,但英特尔研发出来后,自己不想造,觉得不如造芯片赚钱,就扔给ASML。ASML拿到这套方案后,再整合供应链,最终把成品造了出来。事情要从20世纪90年代说起,当时的光刻机已经实现了193nm的浸润式光刻机了,采用193nm光源,通过水的折射后,等效134nm,这种光刻机最多能制造7nm芯片。但芯片还要微缩,接下来怎么办?减少光源的波长,是必须的
目前全球只有一家厂商,能够制造出EUV光刻机,它就是荷兰的ASML。
但大家不知道的是,其实EUV光刻机的研发,是英特尔带着美国的实验室、科研机构研发出来的,但英特尔研发出来后,自己不想造,觉得不如造芯片赚钱,就扔给ASML。
ASML拿到这套方案后,再整合供应链,最终把成品造了出来。
事情要从20世纪90年代说起,当时的光刻机已经实现了193nm的浸润式光刻机了,采用193nm光源,通过水的折射后,等效134nm,这种光刻机最多能制造7nm芯片。
但芯片还要微缩,接下来怎么办?减少光源的波长,是必须的,那么下一步采用什么光源呢?科学家们想了很多办法,最后大家达成了共识,应该使用波长为13.5纳米的极紫外光。
但是觉得要使用13.5nm波长的极紫外线,到能使用这种紫外线来制造光刻机,中间还有很长的路要走,怎么来实现?
于是在1996年,当时全球最牛的芯片制造厂商英特尔,出面了,它联合了美国的几家芯片厂和几个国家实验室成立了一个联盟,全力开发光刻技术。
当时英特尔很赚钱,所以拿出了数十亿美元参与其中,花了大约4年时间,从理论研究,到论证,基本上都跑通了一遍,大致知道极紫外光刻机应该怎么实现。
接下来应该要真正投入制造了,但英特尔自己不想干,觉得这玩意太复杂了,不如自己造芯片赚钱快,毕竟当时全球的芯片以CPU为主,都是英特尔的天下。
当时全球能够帮英特尔制造EUV光刻机的,有三家,分别是荷兰的ASML,日本的佳能和尼康。
但当时美国刚打废了日本的半导体产业,英特尔当然也不愿意日本制造EUV光刻机,而欧盟当时和美国非常好,美国对欧盟不设防,于是将这一技术方案给了ASML。
当然不是白给的,英特尔还入股了ASML,另外还叫上台积电、三星也入股ASML,因为intel知道造EUV光刻机需要钱,需要大把的钱。

当然英特尔也提了要求,一是ASML必须把几个关键部件留在美国生产,二是ASML制造出EUV光刻机后,优先卖给intel、台积电、三星三家。
ASML拿到方案后,其实也过了10来年,才真正完成了从方案到实际的产业链,造出了EUV光刻机,而ASML也是信守承诺,优先卖给intel、台积电、三星这三家。
同时ASML的一些关键技术,也掌握在美国手中,当然ASML另外也扶持了蔡司等核心供应链,光刻机,是英特尔研发出来的,为何只有能造?形成捆绑关系。
所以直到现在,全球也就只有ASML一家能够生产EUV光刻机,同时ASML也要听美国的话,因为背后的故事有点多,这技术背后有美国的功劳。
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